万级无尘室标准是指将一定空间范围内之空气中的微粒子、有害空气、细菌等之污染物排除,并将室内之温度、洁净度、室内压力、气流速度与气流分布、噪音振动及照明、静电控制在某一需求范围内,而所给予特别设计之房间。亦即是不论外在之空气条件如何变化,其室内均能俱有维持原先所设定要求的洁净度、温湿度及压力等性能之特性。 万级无尘室的标准
无尘室标准可分为两大类:一是按用途分类,二是按气流流型分类。4.辐流无尘室
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