Hakuto NS 离子蚀刻机 离子刻蚀机 日本进口蚀刻机
面议
上海
有效期长期有效
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产品属性
加工定制
品牌
Hakuto NS
型号
IBE
用途
离子蚀刻
提供加工定制
别名
离子刻蚀机
所有参数

NS离子蚀刻机 10IBE :适合小规模量产使用和实验室研究,一般通氩气 Ar,无污染,内部使用美国 KRI 考夫曼离子源KDC 40 产生轰击离子;终点检出器采用 Pfeiffer 残余质谱监测当前气体成分,判断刻蚀情况。

基板尺寸

< φ8 X 1wfr

 NS 离子刻蚀机检测器可选

样品台

直接冷却(水冷)0-90 度旋转

离子源

4 cm,8cm,10cm,16cm
考夫曼离子源

均匀性

±6% for 4”Ф

硅片刻蚀率

20 nm/min

温度

<100


伯东离子蚀刻机主要优点:
1. 干式制程的微细加工装置,使得在薄膜磁头,半导体元件, MR sensor 等领域的开发研究及量产得以广泛应用。
2. 物理蚀刻的特性,无论使用什么材料都可以用来加工,所以各种领域都可以被广泛应用。
3. 配置使用美国考夫曼公司原装制造的离子源。
4. 刻蚀角度可以任意调整,蚀刻可以根据需要做垂直,斜面等等加工形状。
5. 基板直接加装在直接冷却装置上,所以可以在低温环境下蚀刻。
6. 配置公转自转传输机构,使得被蚀刻物可以得到比较均匀平滑的表面。
7. 机台设计使用自动化的操作流程,所以可以有非常友好的使用生产过程。

上海伯东主营真空品牌:德国Pfeiffer真空设备;美国BrooksPolycold冷冻机;美国KRI考夫曼离子源;美国HVA真空闸阀:美国inTEST(Temptronic)高低温循环试验机;日本NS离子蚀刻机等。



日本伯东株式会社,成立于1953 年,全球范围内有一千七百名员工。伯东企业(上海)有限公司系日本伯东株式会社在中国投资的全资公司,公司主要从事半导体设备、电子零部件等加工、销售及相关服务工作,集团年营业额约为100亿人民币。伯东企业(上海)有限公司的总部在上海,同时在中国的北京、苏州、广州、深圳、成都及厦门都设有办事机构。

伯东企业(上海)有限公司真空产品事业部销售众多国际知名真空品牌,代理品牌包含:德国 Pfeiffer 全系列真空产品、美国 KRI 考夫曼离子源、美国 BROOKS  Polycold 制冷机,美国HVA真空阀门,美国 inTEST温度气流控制设备,日本 NS 离子蚀刻机,真空镀膜系统及配套真空零配件等。

上海伯东作为众多国际知名真空品牌指定授权代理商,负责在中国地区的销售同时提供完善的售后维修服务。公司在上海,深圳及厦门等全国重要区域都设有我们产品的销售和维修中心,可为广大客户提供全系列产品的维护及保养服务工作,****使用原厂进口零件以及国外受训维修工程师;拥有完全的拆解,维修,校正能力并提供24小时在线服务。

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伯东企业(上海)有限公司
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1995成立时间
1000万注册资本
联系方式 企业档案

电话021-50463511

传真021-50461490

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QQ2821409400

地址上海浦东新区新金桥路1888号36号楼7楼702室

工商信息
统一社会信用代码913101156073328291
成立日期1995年12月01日
组织机构代码607332829
经营状态存续
法定代表人近藤聡(KONDO SATOSHI)
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更新时间:2019-02-28
首页 分类 世界工厂 我的 客服
产品属性
加工定制
品牌
Hakuto NS
型号
IBE
用途
离子蚀刻
提供加工定制
别名
离子刻蚀机
输入电压
220V
规格
IBE
品牌
Hakuto NS 离子蚀刻机
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