MKS 148J金属密封控制阀
148J型先进的超净审计降低了颗粒的产生，并减少了可能导致器件失效和低成本率的残留玷污的放气效应。148J型采用泄漏率低于1X10-10 atm cc/sec（氦气）的金属密封以避免玷污与腐蚀。148J型高温阀门能在150℃的工艺过程温度下。
MKS 148J订购资料：
型号例如：148J11CR1M
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流量量程（N2）sccm |
采购序列号 |
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10 |
11C |
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20 |
21C |
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50 |
51C |
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100 |
12C |
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200 |
22C |
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500 |
52C |
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1000 |
13C |
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2000 |
23C |
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5000 |
53C |
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10000 |
14C |
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20000 |
24C |
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装配件 |
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4VCR凸接头 |
R |
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阀门 |
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常闭 |
1 |
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密封 |
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全金属 |
M |
148J配套电缆线：
CB251-2-10用于将148J连接至250,1249,146,186
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