MKS GE250A质量流量控制器
MKS GE250A是通用的弹性密封的MFC，非常适用于大流量质量流量计或质量流量控制器的各种各样要求，流量范围从100-250slm，GE250A MFC设计有获得专利MKS的热传感器技术与机械设计，有模拟与数字I/O的常用性通讯模式，利用了MKS**控制算法，提供设定点的快速和可重复性的响应。GE250A精度为1%，精度控制为2%至满量程，优于很多典型质量流量控制器。
MKS GE250A特点：
快速响应的设定点保证流量的稳定性
严格控制的工艺气体流量精度可以改进工艺的匹配
降低了进气压力（压差）的要求，简化了天然气的供应调控
新的设计降低了整体成本
在很宽的量程范围有**的流量控制，减少了一个额外的低范围的MFC
设计上很易于集成与操作
通过标准的以太网接口的设备配置和诊断简单。
使用标准的Web浏览器不需要任何特殊的软件
CE认证与RoHS要求
MKS GE250A的技术参数
量程范围：100-250slm
**进气口压力：150pisa
正常工作压差：30-55左右（大气压力在出口）
控制范围：2%至****
精度：读数的20%到**** ±1%
5%到20% ±0.25%
重复性：读数0.5%
工作的环境温度：10-50℃
MKS GE250A的订购资料：
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例：型号GE250A013255TBV0010 |
采购序列号 |
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大流量质量流量控制器 |
GE250A |
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校准气体 |
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氦气He |
001 |
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氩气Ar |
004 |
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氢气H2 |
007 |
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氮气N2 |
013 |
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氧气O2 |
015 |
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其他气体 |
可选 |
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校准流量SLM |
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250slm |
255 |
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装配件 |
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8 VCR |
T |
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8 VCO |
D |
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1/2 tube管 |
S |
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1/2NPT |
M |
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电气/通讯连接器 |
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模拟15针D型（I/O 0-5VDC） |
B |
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15针D型（4-20mA） |
H |
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密封 |
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Viton |
V |
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Neoprene |
N |
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Buna N |
B |
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EPDM |
E |
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MKS |
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标准 |
00 |
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软件版本 |
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MKS会安装出厂日期**版本 |
10 |
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