考夫曼离子源离子*光学真空镀膜机应用
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上海
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品牌
美国考夫曼离子源
电镀位置
轮式喷镀
镀种
真空镀膜
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型号
美国考夫曼离子源
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日本伯东株式会社,成立于1953 年,全球范围内有一千七百名员工。伯东企业(上海)有限公司系日本伯东株式会社在中国投资的全资公司,公司主要从事半导体设备、电子零部件等加工、销售及相关服务工作,集团年营业额约为100亿人民币。伯东企业(上海)有限公司的总部在上海,同时在中国的北京、苏州、广州、深圳、成都及厦门都设有办事机构。

伯东企业(上海)有限公司真空产品事业部销售众多国际知名真空品牌,代理品牌包含:德国 Pfeiffer 全系列真空产品、美国 KRI 考夫曼离子源、美国 BROOKS  Polycold 制冷机,美国HVA真空阀门,美国 inTEST温度气流控制设备,日本 NS 离子蚀刻机,真空镀膜系统及配套真空零配件等。

上海伯东作为众多国际知名真空品牌指定授权代理商,负责在中国地区的销售同时提供完善的售后维修服务。公司在上海,深圳及厦门等全国重要区域都设有我们产品的销售和维修中心,可为广大客户提供全系列产品的维护及保养服务工作,****使用原厂进口零件以及国外受训维修工程师;拥有完全的拆解,维修,校正能力并提供24小时在线服务。

光学镀膜(optics coating),在现代生产被广泛应用,玻璃镀膜、镜片镀膜、显微镜镜片镀膜、装饰灯罩镀膜都是必不可少的生产工艺, 但是在真空镀膜中会出现膜层不均匀,或是产品膜层脱落等现象。所以针对此类问题, 美国考夫曼公司KRI(Kaufman & Robinson, Inc)研发了IonSource 离子源,从而解决了此类技术问题。伯东公司为美国考夫曼KRI 离子源 中国地区总代理并负责其产品的销售及相关技术支持。

KRI离子源离子枪在光学镀膜中主要起到了预清洁及辅助镀膜的作用,
伯东公司客户案例:厦门某光学镀膜企业,该企业使用日本Shincron真空镀膜机,如下图所示:

加装KRI 离子源离子枪起到预清洁作用,由于膜层表面很光滑,在镀膜时会产生膜层脱落现象,预清洁就是将膜层表面用大的离子如Ar打击表面,使得制程物能有效的吸附在表面上。

使用专业测膜记号笔,可以明显看出加装KRI 离子源离子枪前后有很大的不同,当然在镀膜中希望的效果肯定是加装后的。
由于客户腔体比较大,大约2 m3左右,所以我们使用的型号是EH 4200,功率比较大的KRI 离子源。在预清洁后还会开启进行辅助镀膜,具体效果需要在显微镜下观测,膜层厚度均匀性及附着牢固度都明显提高。

                                                                    工作示意图如上,KRI离子枪覆盖面

KRI离子源广泛应用在 镀膜 、半导体、显示屏,科研等领域

上海伯东主要经营产品:德国普发Pfeiffer 涡轮分子泵,干式真空泵,罗茨真空泵,旋片真空泵; 应用于各种条件下的真空计,真空规管;氦质谱检漏仪,质谱分析仪,四级杆质谱仪;以及美国 HVA 真空阀门, Polycold冷冻机,Gamma 离子泵和美国考夫曼公司 KRI 离子源 离子枪霍尔源

 

若您需要进一步的了解详细信息或讨论, 请参考以下联络方式:

上海伯东:叶小姐                   台湾伯东:林先生
T: +86-21-5046-3511 ext 109        T: +886-3-567-9508 ext 168
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ec@hakuto-vacuum.cn                

               


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伯东企业(上海)有限公司
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法定代表人近藤聡(KONDO SATOSHI)
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更新时间:2019-01-30
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美国考夫曼离子源
电镀位置
轮式喷镀
镀种
真空镀膜
提供加工定制
型号
美国考夫曼离子源
适用范围
光学镀膜机加装
产品别名
离子枪
电镀电源
双脉冲电源
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