MKS 925系列微皮拉尼真空计,是基于一个以微电子机械系统的热量传导型的真空传感器,925真空计可以用于真空压力测量和提供模拟电压输出,数字通讯和用于工艺控制的中继点。
产品特点:
压力测量范围在10ˉ5Torr 到大气压,大于普通的皮拉尼真空计2个测量等级
3个用于工艺控制的中继点(选择性)
超精致的设计
为工艺控制提供高的测量精度
模拟的输出和数字通讯(RS232或RS485)提供了简便的操作
可以抵御大气冲击和振动
可以方便地安装于任何方向,没有任何测量精度的损失
可以替代任何供应商的真空计和设施的升级
符合欧洲CE,EMC标志
应 用:
MKS925真空计可以使用于半导体工业的分析和镀膜工艺上的测量。
一般的真空压力测量
前极管路和低真空的测量
气体的充填测量和控制
质谱仪器的控制
超高真空计的启动
工艺系统的控制
控制系统的压力
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