高温探针台系统
加热台台体重60公斤
4″卡盘（卡盘大小可选）
卡盘X/Y方向行程：4″（行程可选），移动精度10μm
θ向旋转360°转动，旋转微调+-15°,调节精度0.1°
卡盘快速升降范围4mm，可调节显微镜在 X-Y 平面2"x2"范围内移动,精度1微米，真空开关独立控制卡盘上吸附空和吸附环
水箱（风扇热式水冷却机）
尺寸：460mm宽x360mm长x650mm高
重量：34KG
双路水冷循环
流量：20L/min
额定值：220V 50HZ 1.9A
温度控制器
室温加温到300度，任何一区段+-1%;设定温度大于300度时+-1.5%
50段程序编排，前30段具备自动跳转功能
光源
150W 高功率白色照明灯源（亮度可以无级调节）
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