标准型探针台
可兼容DC测试、射频、高频、微波测试
直流到高频
产品特点：
XY高精度大行程平台调节，Z轴快速升降，U型面板设计，结构稳定
可搭配体式显微镜/高倍率长工作距离视频显微镜/高分辨率金相显微镜、荧光显微镜等…
本图中搭配变焦比12X的单筒视频显微镜、BT-100型探针座，用于安装高频探针及线缆使用
探针座可根据移动精度选择，吸附方式可选磁吸附或真空吸附
显微镜组件带有XYZ三方向调节装置，配置连接组件，可安装各类显微镜主体
可升级半自动系统
产品规格：
组件/型号 | APS150 |
显微镜配置 | 单筒视频显微镜 |
真空吸附卡盘 | 6寸不锈钢150mm |
主体平台XY移动行程 | 150mm*150mm |
显微镜位移台行程 | 25mm*25mm |
旋转角度 | 0-30O |
Z轴行程 | 5mm |
探针台本体 | 固定式 |
可放置样品尺寸 | 5mm*5mm至150mm(6寸) |
真空卡盘平坦度 | 10um |
尺寸 | 580mm*460mm*700mm |
重量 | 60kgw |
配置可选项：
* 体式显微镜/高倍率超长工作距离视频显微镜/高分辨金相显微镜
* 真空吸附加热卡盘（温度：200℃/300℃或其它）
* 可选低温制冷卡盘
* 低温罩箱（用于充入氮气低温制冷）
* 客户定制化移动平台
* 气压式显微镜升降调节
* 各类DC探针、高频探针、主动式探针、电缆线等…
* 低电容、电流探测装置
* 高电压探测装置
* 雷射切割装置
* CCD或C-MOS视频成像装置
探针夹具
* 静音真空泵
* 屏蔽箱
* 防振桌
* 适配器
* 转接头
* 电学测试设备
* 其它外围组件
如需更多详细技术参数请致电或联系我们
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