四氟甲烷,亦称四氟化碳、全氟化碳,PFC-14(R-14)。分子式:CF4。相对分子量:88.00。在常温下,四氟甲烷是无色、无臭、不燃,不溶于水的可压缩性气体。沸点:-128℃,熔点:-183.6℃。液体密度(-130℃)1.613g/cm3,临界温度-45.67℃,临界压力3.74Mpa,蒸气压(-150.7℃)13.33kPa,介电常数(25℃,0.5Mpa)1.0006。挥发性较高,是最稳定的有机化合物之一,在900摄氏度时,不与钢、镍、钨、钼反应,仅在碳弧温度下缓慢分解,微溶于水,在25摄氏度及0.1Mpa下其溶解度为0.0015%(重量比),然而与可燃性气体燃烧时, 会分解产生有毒氟化物,危险性类别为第2.2类不燃气体。
用途
四氟甲烷是目前微电子工业中用量**的等离子蚀刻气体,其高纯气及四氟甲烷高纯气配高纯氧气的混合气,可广泛应用于硅、二氧化硅、氮化硅、磷硅玻璃及钨等薄膜材料的蚀刻,在电子器件表面清洗、太阳能电池的生产、激光技术、气相绝缘、超低温制冷剂、泄漏检验剂、印刷电路生产中的去污剂等方面也大量使用
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制冷剂/冷媒:
巨化,杜邦,英力士(美西),阿托(阿科玛),大金,霍尼韦尔等国产进口制冷剂;
R11,R12,R13,R14,R21,R22,R23,R32,R50,R123,R134a,R401A,R401B,R402A,R402B,R403B,R404A,R407C,R407D,R408A,R409A,R410A,R411A,R411B,R411C,R412A,R417A,R418A,R422A,R422D,R423A,R245fa(HFC245fa),R500,R502,R503,R507,R508A,R508B,R509A,R116,R161,R1150,R1270,R170,R290,R600,R600a,R124,R740,R125,R143a,R141b,R142b,R152a,超低温混合制冷剂等型号......
冷冻油:
约克、开利、麦克维尔、汉钟
有利凯玛(冰熊)Uniqema:EmkarateRL22H,RL32H,RL68H,RL100H,RL170H,RL220H冷冻机油。
西匹埃CPI:SolestLT-32,68,120,170,220;CP-4214-85,CP-4214-150,CP-4214-320等冷冻油。
嘉实多Castrol(CRODA/ Uniqema):ICEMATICSW68,SW220;以及Castrol其他型号冷冻油的对应油品。
太阳SUNOCO:SUNISO3GS,4GS,5GS;3GSD,4GSD,5GSD;SL-22S,SL-32S;SUNICET-68。
中国石油CNPC:昆仑KunLun3GS,4GS,5GS;L-DRA/A46,L-DRA/A68;KRD10冷冻机油。
道达尔TOTAL:ISU PAG105,PAG 226HS,PAG 211KS,PAG513;LUNARIAKT15,32,46,56等。
美孚Mobil:GargoyleArctic 300;EAL Arctic22,46,68冷冻机油;以及Mobil其他型号冷冻油的对应油品。
加德士Caltex:CapellaWF68冷冻机油;以及Caltex其他型号冷冻油的对应油品。
英国石油BP:EnergolLPT 68冷冻机油;以及BP其他型号冷冻油的对应油品。
壳牌Shell:Clavus32,46,68,100;G32,G46,G68,G100;以及Shell其他型号冷冻油的对应油品。
Shrieve:ZEROLPAG46,PAG100合成汽车空调压缩机油;ZEROL150,200TD,300,500冷冻机油。
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