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联系人:李冬静/
韩国原装进口高精度气体质量流量计/气体质量流量控制器,使用特别的热传感器和控制电路提高计算精度。广泛应用于半导体工业和其他行业,产品设计坚固、耐用,且经济。
应用:
LINE TECH气体质量流量流量计和流量计广泛应用于:真空镀膜设备、光电产业到工业工具的表面镀膜、SPUTTER磁控溅射台、PVD、CVD、MOCVD、氧化、等离子刻蚀、离子注入,直拉式晶炉,精密半导体、燃料电池、气调储存保鲜相关设备、生物反应器、生物过程控制器、大学实验室、研究所、食品及制药产业、医疗设备、气相色谱仪等相关行业。
优势:
l 测量质量流量
l 不需要温度、压力补偿
l 紧凑的流量控制系统
l 高精度(±1%F.S)
l 耐高压(90公斤)
l 快速响应时间(<1秒)
l 高重复性(±0.25%F.S)
规格:
型号 | M2300V |
流量范围(N2) | 100~300 slpm |
响应时间 | <2秒 |
**度 | ±1% |
重复精度 | ±0.25% |
输入输出信号 | 0~5Vdc |
供电 | +15Vdc or +24Vdc,350mA |
**工作压力 | 90 bar |
**工作温度 | 0~50℃ |
漏率 | 1×10-9 |
控制范围 | 2~**** |
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