我公司研发生产的DS610、DS620、DS820系列精密划片机是综合了水气电、高速主轴、精密机械传动、传感器及自动化控制等技术的精密数控设备。主要用于硅集成电路、发光二极管、铌酸锂、压电陶瓷、砷化镓、蓝宝石、氧化铝、氧化铁、石英、玻璃、陶瓷、太阳能电池片等材料的划切加工。
DS820精密划片机图片
DS820精密划片机主要技术参数如下：
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配置与性能 |
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1 |
加工尺寸 |
方形≤210__×210__ 或 圆形≤φ8″ |
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2 |
切槽深度 |
≤4__ 或 __（**40__） |
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3 |
切槽宽度 |
≤_片厚度+10μm（开槽深度小于1__时） |
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4 |
工作台平整度 |
±0.005__/100__ |
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5 |
对准系统 |
单筒显微镜＋CCD； 40~230X |
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6 |
控制系统 |
IPC Based |
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7 |
操控方式 |
触摸屏操控 |
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空气静压主轴 |
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1 |
额定工作气压 |
0.55MPa |
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2 |
转速范围 |
Max40000rpm |
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3 |
输出功率 |
1.5kW （可选配2.4 kW） |
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X轴（驱动工作台左右运动） |
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1 |
驱动方式 |
伺服电机 |
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2 |
工作台左右行程 |
380__ |
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3 |
行程分辨率 |
0.001__ |
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4 |
划片速度 |
0.1～400__/s |
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Y轴（驱动主轴前后运动） |
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1 |
驱动方式 |
步进电机+光栅闭环控制系统 |
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2 |
主轴前后行程 |
210__ |
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3 |
行程分辨率 |
0.0005__ |
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4 |
单步定位精度 |
≤0.003__ |
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5 |
全程定位精度 |
≤0.005__/210__ |
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Z轴（驱动主轴上下运动） |
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1 |
驱动方式 |
步进电机 |
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2 |
主轴上下行程 |
30__ 或 __（支持大深度切割） |
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3 |
行程分辨率 |
0.001__ |
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4 |
重复定位精度 |
0.002__ |
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θ轴（驱动工作台转动） |
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1 |
驱动方式 |
伺服电机 |
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2 |
正反转范围 |
360°任意 |
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3 |
转角分辨率 |
0.0001°(0.36″) |
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4 |
重复定位精度 |
±3.6″ |
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其它 |
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1 |
温湿度 |
15～28℃；湿度＜80%，无凝结 |
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2 |
电源 |
单向，AC 220V±10%，3.0kW |
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3 |
____ |
压力0.6MPa； 流量300L/min |
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4 |
冷却水 |
压力0.3MPa； 流量3.0L/min |
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5 |
外形尺寸W×D×H |
775__×1060__×1630__ |
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6 |
重量 |
630kg |
主要技术性能如下：
Ø 第二代控制系统，触摸屏操控方式，自动化程度高。
Ø 上位机控制由工业计算机和轴卡组成，可靠性高。
Ø X轴采用伺服电机驱动，调速范围宽，运行平稳。
Ø Y轴采用直线导轨，滚珠丝杠和光栅反馈闭环控制，无误差积累，定位准确。
Ø Z轴采用直线导轨和滚珠丝杠传动方式，定位准确。
Ø θ轴采用伺服电机驱动，精密转角机构无误差积累，运行平稳。
Ø 图像系统由连续变倍显微镜和高清CCD组成，清晰直观。
Ø 中文操作界面，状态实时显示，操作简便人性化。
Ø 提供划片工艺编程功能，复杂加工轻松完成，多套工艺方案更换方便。
DS820精密划片机**特点：
1、 DS820精密划片机在设计理念上更注重设备本身的操控性和可扩展性；
2、 该机型标配采用触摸式液晶显示器，优化了用户操作界面，提升了操作的便捷性，提升工作效率；
3、 该机型机械部分**化利用8寸机的尺寸空间，**切割尺寸为210__×210__，满足了客户用8寸机对大尺寸方形片状材料分割、小尺寸多片同时切割的要求。
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