德国Pfeiffer(普发)是****的真空获得、真空测量及真空应用设备的制造商。历史悠久、技术先进、性能优越、品质稳定、服务完善，是高端真空设备的**。其分子泵技术处于****水平。
涡轮分子泵包括涡轮分子泵Hipace 10-700 l/s 系列、 Hipace 1000-2000 l/s 系列、 Hipace 全磁浮系列、 分子泵 TMH/U 10-500 l/s 系列、 分子泵 TPH/U 1000-2000 l/s 系列及全磁浮分子泵系列
分子泵 Hipace 1000-2000 l/s 产品优点：
1、四种抽速，抽速为自1,000 至 2,000 l/s
2、对于分子量较小气体以及分子量较大气体的高抽速
3、适用各种工艺如刻蚀, 溅镀, 要求，耐粉尘
4、高气流量，即使对于分子量较大的气体
5、集成的 TC 1200 驱动单元，可直接连接一般电源
6、支援腐蚀气体
7、带节气阀门的集成密封气体系统
8、标准接口界面:RS-485以及远程控制Profibus或者DeviceNet可供选择
9、符合 IP 54 防护标准，适用于工业应用环境
10、符合 Semi S2 规范
11、符合 UL, CSA 以及 TÜV 认证
分子泵 Hipace 1000-2000 l/s 适用领域：
1. 玻璃及刀具镀膜 2. 真空炉 3. 质谱分析 4. 研发及化工行业 5. 半导体生产
Hipace 1000-2000 l/s 产品规格
| 型号 | 连接尺寸 DN | 抽速 l/s | 压缩比 | **启动压强mbar | 冷却方式 | 启动时间 | 重量 | |||
| 进气口 | 出气口 | 氮气N2 | 氦气He | 氢气 H2 | 氮气 N2 | 氮气N2 |
| min | kg | |
| HiPaceTM 1200 | 200 | 40 | 1250 | 1300 | 1100 |
>108
| 2
|
风冷 | 2.5 | 40 |
| HiPaceTM 1500 | 250 | 40 | 1450 | 1350 | 1150 |
>108
| 2
|
风冷 | 2.5 | 41 |
| HiPaceTM 1800 | 200 | 40 | 1450 | 1650 | 1700 |
>108
| 1.8
|
风冷 | 4 | 34 |
| HiPaceTM 2000 | 250 | 40 | 1900 | 2050 | 1850 |
>108
| 1.8
|
风冷 | 4 | 37 |
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