供应英国Thermco公司扩散炉氧化炉合金化炉退火炉LPCVD
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英国Thermco公司扩散炉、LPCVD、氧化炉、退火炉、合金化炉
产品概述
英国Thermco Systems公司成立于1962年，是世界上**的卧式扩散炉、氧化炉、退火炉、合金化炉及LPCVD炉的制造商，在全球各处的半导体制造厂里都有大量的安装应用，迄今为止安装记录已超过20000管。
根据基片尺寸以及产量要求的不同，HTR系列可分为6200，5100/5200，4500/4900，2400/2600等；可处理4"~10"的基片，每管处理能力分别可达25片、50片或100片；根据配置不同的工艺气源及温度控制范围，各型号的产品均可用于LPCVD、扩散及氧化等热处理反应工艺。
产品应用
· 氮化硅（标准型，LPCVD)
· 氮化硅（低应力型，LPCVD）
· 斜坡温度多晶硅（LPCVD）
· 一致晶粒多晶硅（LPCVD）
· TEOS（正硅酸乙脂，LPCVD）
· VLTO（低温氧化，LPCVD）
· BPSG（硼磷硅玻璃，LPCVD）
· 高温氧化
· 干法氧化
· 湿法氧化
· 掺杂扩散 （3-4路液相掺杂管路 ( POCL3 or BBR3)）
· 5-6路TCA或Hcl气路
· 混合气体退火
· 高温热回火
· 低温退火和合金化
· 高温驱入（Drive in）
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