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ISB万向球
无尘室用的 ISC 球轴承广泛使用于所有 FPD 制造设备,世界各厂商把它作为玻璃基板的**定位。无尘室用的球轴承由于客户的用途和使用方法,材料和负载量均不同,因此不能用以往的球轴承概念来使用。在半导体和 FPD 制造设备中要有效利用球轴承的优点。
使用ISC球轴承的优点
1.使用ISC球轴承,仅用Pin方式1/10的摩擦抵抗力,可容易定位轻易弯曲的大型玻璃基板。
2与滑动方式相比,ISC球轴承的滚动方式可长时间保持稳定的低摩擦抵抗,实现玻璃基
板的校准。
3.ISC球轴承比滑动方式的摩擦抵抗力低,**限度地减少玻璃基板的破碎,可以改善装
卸载部和各种处理工程的效率。
4.滚动方式的ISC球轴承,飞速提高定位各种处理部的速度。
5滚动方式可大大减少磨耗带来的接触部零部件的更换工作。
ISC球轴承的特征
1.采用了玻璃基板上不留痕迹的杜邦产品,以及PBI和PEEK为代表的各种工程塑料。
2**限度地限制微粒的产生,使用了ISB独特的无尘化工艺。
3.切削后高精度的ISB球轴承上添加可选择材料的功能,并使用ISB无尘化工艺,大幅度
降低成本,重新调整了各种成型品。
4.无尘袋的基本规格上添加ISB洗净功能。
5可用于200℃以上的高温环境和真空箱内、各种装卸载部、忌避光反射的光学测定器、
原玻璃切下的部分等。可适用于各种用途的特殊产品。
6.可制造无尘室用超小型ISC球轴承。
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