产品介绍:
FM200为精密部件的制造商提供了业界**的表面形态测量。通过非接触式光学测量技术记录下整个表面的数据。FM200能够快速和准确地对各种表面的平面度、线型和其他表面参数进行测量。
产品特点:
■ 无接触和无损伤测量
■ 适用多种类型材料:半导体,金属,聚合物,陶瓷,玻璃和其它材料
■ 适用多种类型晶片:硅/蓝宝石/碳化硅/砷化镓/石英/锗/铌酸锂
■ 适用多种类型表面:研磨表面,抛光面,超光滑面
■ 测量多种不同指标:
厚度/TTV/SORI/LTV/LDOF/压力/翘曲度/弯曲度/平坦度/平面度/线轮廓/表面轮廓
■ 完整的分析系统:
三维/拓扑/合格率/分布/二维环形和半径切面/平面/球面/锥形匹配/局部平面度分析/斜度
■ 可以实现自动、快速、准确、稳定的测量
■ 超过15年的工业应用,全球几百台的装机量
技术参数:
■ **度:50nm (2.0μ″)
■ 重复性:15 nm(0.6μ″)(1 sigma)
■ 分辨率:5nm (0.2μ″)
■ 可测量工件尺寸:25mm-200mm
■ 动态测量范围:>100um
■ 测量数据点:230,000 / measurement
■ 测量时间:5秒
■ 电源:~220V 50Hz
典型客户:
国外:Honeywell Electronic Materials,SEI,Showa Denko,SESMI,Saint Gobain,Nikko Materials,Hitachi Cable,Freiberger Compound Materials,Crystal Tech,*******,LG,Crystalwise,Wafer Works……
国内:塞维,重庆四联,中电46所,山东大学,大连理工大学,中国科学院半导体所,中国科学院物理所,中科晶电,中科镓英,云南蓝晶,青岛嘉星晶电,天科合达,大庆佳昌……
详情欢迎来电咨询:
北京合能阳光新能源技术有限公司
北京市通州区工业开发区光华路16号综合楼A207
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联系人:肖经理 QQ:454972757
E-mail:
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