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Pfeiffer 分子泵 HiPace 1500上海伯东销售维修德国普发涡轮分子泵 Pfeiffer HiPace 1500, 抽速可达 1450 l/s 的高性能涡轮分子泵. 对各种气体均有高抽吸能力, 高工艺适用性, 防止进入颗粒. 集成驱动电路, 适用于工业环境, 通过保护等级 IP54. 带有气体密封阀 24 V DC 的集成型气体密封系统.涡轮分子泵 HiPace 1500 特性对各种气体的高抽吸能力: 不论是小分子量气体 (H2, He) 和大分子量气体 (Ar, CF4) 都有很高的抽速.高工艺适用性, 防止进入颗粒, 高气流量分子泵获得 SEMI S2, UL, CSA, TüV 认证防护等级 IP 54, 符合工业环境应用要求分子泵安装角度可选 0-90° 或 90-180°提供抗腐蚀型号带节流阀和阀门的集成净化气体系统涡轮分子泵 HiPace 1500 技术参数：
|
分子泵型号 |
接口 DN |
抽速 l/s |
压缩比 |
**启动压强mbar |
极限压力 |
全转速气体流量hPa l/s |
启动 |
重量 |
|||
|
进气 |
排气 |
氮气 |
氦气He |
氢气 H2 |
氮气 |
氮气N2 |
hPa |
氮气N2 |
min |
kg |
|
|
HiPace 1500 |
250 |
40 |
1,400 |
1,350 |
1,150 |
> 1X108 |
2 |
< 1X10–7 |
20 |
2.5 |
29 – 41 |
涡轮分子泵 Hipace 1500 C 系列：抗腐蚀设计，专为腐蚀性气体应用环境而设计研发涡轮分子泵 Hipace 1500 U 系列：可以倒装
分子泵 Hipace 1500 目前在售型号如下：
分子泵 HiPace 1500，具有 TC 1200，DN 250 ISO-K
分子泵 HiPace 1500，具有 TC 1200，DN 250 CF-F
分子泵 HiPace 1500，具有 TC 1200，DN 250 ISO-F
分子泵 HiPace 1500 U，具有 TC 1200，DN 250 ISO-K，可以倒装
分子泵 HiPace 1500 U，具有 TC 1200，DN 250 CF-F，可以倒装
分子泵 HiPace 1500 U，具有 TC 1200，DN 250 ISO-F，可以倒装
分子泵 HiPace 1500 C，具有 TC 1200，DN 250 ISO-K，防腐蚀
分子泵 HiPace 1500 C，具有 TC 1200，DN 250 CF-F，防腐蚀
分子泵 HiPace 1500 C，具有 TC 1200，DN 250 ISO-F，防腐蚀
分子泵 HiPace 1500 U C，具有 TC 1200，DN 250 ISO-K，可以倒装，防腐蚀
分子泵 HiPace 1500 U C，具有 TC 1200，DN 250 CF-F，可以倒装，防腐蚀
分子泵 HiPace 1500 U C，具有 TC 1200，DN 250 ISO-F，可以倒装，防腐蚀
分子泵 HiPace 1500，具有 TC 1200，Profibus，DN 250 ISO-K
分子泵 HiPace 1500，具有 TC 1200，Profibus，DN 250 CF-F
分子泵 HiPace 1500，具有 TC 1200，Profibus，DN 250 ISO-F
分子泵 HiPace 1500 U，具有 TC 1200，Profibus，DN 250 ISO-K，可以倒装
分子泵 HiPace 1500 U，具有 TC 1200，Profibus，DN 250 CF-F，可以倒装
分子泵 HiPace 1500 U，具有 TC 1200，Profibus，DN 250 ISO-F，可以倒装
分子泵 HiPace 1500 C，具有 TC 1200，Profibus，DN 250 ISO-K，防腐蚀
分子泵 HiPace 1500 C，具有 TC 1200，Profibus，DN 250 CF-F，防腐蚀
分子泵 HiPace 1500 C，具有 TC 1200，Profibus，DN 250 ISO-F，防腐蚀
分子泵 HiPace 1500 U C，具有 TC 1200，Profibus，DN 250 ISO-K，可以倒装，防腐蚀
分子泵 HiPace 1500 U C，具有 TC 1200，Profibus，DN 250 CF-F，可以倒装，防腐蚀
分子泵HiPace 1500 U C，具有 TC 1200，Profibus，DN 250 ISO-F，可以倒装，防腐蚀
上海伯东德国 Pfeiffer 涡轮分子泵 HiPace 1500 适用于半导体, 镀膜, 工业和研发行业.
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