兼容INFICON的热电离,冷电离,皮拉尼及电容薄膜四种真空规,为您测量和控制过程提供最完美的解决方案。VGC400系列控制器的测量范围为10-8至1.5 x 105Pa (10-10to 1500 mbar 、10-10to 1125 Torr).
优点:
- 通过RS232接口,固件升级可以很容易在网上下载
- 用户可设置0至10V输出图表记录器显示每个计量或计量组合线性曲线
- 高分辨率- 16位A/D转换
- 自动识别连接INFICON的真空规
- 用户可选择测量单位(mbar, Torr, Pascal, micron)
- 多达6个可调设点,调设后可以分配给每个频道
- 多功能,紧凑型台式模型设计可以很容易地安装在一个小控制板或19"机架上
- 宽范围的电源供应:90V-250V,50-60 Hz
用途
VGC401,VGC402和VGC403真空规控制器是用于显示和控制INFICON制造的真空规。
它与INFICON真空规PSG,PCG,PEG,CDG,BPG和HPG系列一起用于总压强测量。真空规必须按它们的说明书操作使用。
1 技术参数
2.1 一般参数
2.1.1 机械参数
尺寸 宽度: 106.3毫米
高度: 128.5毫米(3 HE)
深度: 207毫米
见图2-1, 7
重量 VGC402:
1.04公斤
VGC403
1.16公斤
使用 桌上式
控制屏安装
机架安装
2.1.2 环境
温度 贮存: -20. . .+60℃
工作: +5 . .+50℃
相对湿度 **80%(高至31℃)
减至
**50%(40℃以上)
使用 仅室内
海拔**2000米NN
污染等级 II
保护类型 IP20
2.1.3 运行
手动 通过面板上的4个控制按钮
遥控 通过RS232C接口
2.1.4 标准
符合有关用于在一定电压范围限度内的电气设备规程73/23/EWG
符合有关电磁兼容性的规程89/336/EWG
符合国际/国家标准和规范:
EN 61010-1(用于测量,控制和实验室电气设备的安全规范)
EN 61000-6-2(电磁兼容性通用放射标准)
EN 61000-6-3(电磁兼容性通用抗干扰标准)
2.2 电源连接
电压 90. . .250VAC
频率 50. . .60Hz
功耗 VGC402:
**45W
VGC403:
**65W
过压类型 II
保护等级 1
连接 欧洲仪表连接件
IEC 320 C14
2.2 通道
2.3.1 规管连接
通道数量 VGC402: 2
VGC403: 3
每通道的
规管连接 RJ45(FCC68)
D-Sub,15脚,插座
(平行连接)
兼容规管 皮拉尼:
PSG400,PSG400-S,
PSG100-S,PSG101-S
皮拉尼/电容规:
PCG400,PCG400-S
冷阴极:
PEG100
电容规:
CDG025,CDG045,
CDG100
热电离/皮拉尼:
BPG400
HPG400
2.3.2 规管电源
电压 +24VDC±5%
电流 500mA
(短时间750Ma)
保险丝 900 mA通过PTC元件
仪器off或拔下规管
插头后自复位
电源符合超低压接地
保护的要求(SELV-E
按EN 61010标准)
2.3.3 测量技术
测量范围 与规管有关
测量误差 增益误差:
≤0.005%FS
偏离误差:
≤0.01%FS
测量速率 50次/s
显示速率 10次/s
筛选时间常数 慢:
约1.0s(fg= 0.16Hz)
正常:
约0.3s(fg= 0.53Hz)
快:
约0.06s(fg= 2.65Hz)
测量单位 毫巴,帕,乇,微米汞柱
可能的调整 线性规管(CDG):
调零
对数传感(PSG,PCG,
PEG,BPG,HPG):
对氮,氩,氢固定的校正因素,
或在0.10. . .9.99范围内
可变的校正因素
A/D变换器 分辨率>16位
注:
BPG/HPG测量用数字传输.
2.4 开关功能
开关功能
的数量 VGC402: 4
VGC403: 6
配置 不能配置
反应延迟 与筛选时间常数有关
调整范围 与规管有关
滞后性 线性规管(CDG):
≥1%FS
对数传感(PSG,PCG,
PEG,BPG,HPG):
≥10%测量
2.4.1 开关功能继电器
触点类型 换向型触点,浮动
负载(Ω) **60VDC,0.5A
**30VAC,1A
寿命 机械:
107次
电气:
**负载下105次
连接件 D-Sub,25脚,插座
见图3-8, 13
2.4.2 误差信号继电器
数量 1
延迟时间 ≤20ms
触点类型 换向型触点,浮动
负载(Ω) **60VDC,0.5A
**30VAC,1A
寿命 机械:
107次
电气:
**负载下105次
连接件 D-Sub,25脚,插座
见图3-8, 13
2.5 输出
2.5.1 模拟输出
数量 每通道1个
电压范围 0 . . . 10VDC
显示值的偏差 ±50mV
内阻 47Ω
电压与压强
之间的关系 与规管有关
连接件 D-Sub,9脚,插座
见图3-9, 13
2.5.2记录仪输出
数量 1个
电压范围 0 . . . 10VDC
分辨率 1mV
精度 ±20mV
内阻 3300Ω
电压与压强
之间的关系 可编程
连接件 D-Sub,9脚,插头
见图3-9, 13
2.5.3 计算机接口
标准 RS232C
协议 ACK/NAK
ASCII带3-字符助记,
双向数据流,
讯号 仅使用TXD和RXD
传输率 9600,19200,38400波特
连接件 D-Sub, 9脚,插座
见图3-10, 14
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