作为针对各种应用的业界公认标准，Aera® FC-7700 系列 MFC 提供**的流量控制，同时具备弹性密封的经济优势。对于半导体、平板显示器、数据储存、工业真空、及工业涂层的工艺及装备工程师，这一系列提供针对非腐蚀性气体应用（包括CVD、PVD、蚀刻、离子注入、溅射、热氧化、光学玻璃镀膜、光纤、表面处理以及其它镀膜工艺）的高度可靠性和出色的性能。
优势 | 特点 |
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性价比高 | |
FC-7700系列产品专为那些要求顶极性能，但不要求具有耐腐蚀性或超高漏率要求的应用而定制，不仅性价比好，而且控制精度非常高。 |
响应速度快 | |
FC-7700系列产品采用****设计，工作性能远远优于同类质量流量控制器MFC.其先进之处包括：采用了一种敏感性强、响应速度快的小直径传感器。另外，与采用低速热敏阀的同类产品相比，FC-7700系列产品采用常开或常闭式电磁阀，具有较快的响应速度。提高响应速度之后，避免了出现过冲，达到设定点的时间不到2秒--在所有带标准电磁阀的质量流量控制器产品中是最快的。 |
****的可靠性 | |
由高质量的电子组件和采用耐用、最少元器件的设计理念，这使它可以经受强射频场的干扰，满足其它运转要求，并具有同类产品中*的零点漂移稳定性--使用超过一年，零点漂移不到满量程的0.5%。在投入使用的25，000件以上产品中，仅有不到0.5%的产品在出货一年内返修。 |
易于集成 | |
替换其它品牌，即可轻松获得Area质量流量控制器所具有的性能和可靠性方面的优势，且不会遇到安装方面的麻烦。特定型号的产品带有标准电气接头并具有临界尺寸，可轻松装入现有的系统。 |
出从的效果 | |
FC-7700系列质量流量控制器带给您的不仅仅是薄膜和刻蚀工艺的一致性，同时还有高度的可重复性 |
型号参数：
类别 | FC-7700、7700C、7700CD、7700CU | FC-7710、7710C、7710CD、7710CU | FC-7720、7720C、7720CD |
满量程范围 | 10sccm到5slm | 6到20slm | 35到150slm |
20到50slm | |||
响应时间 | 到达设定点±2%所需时间 | 到达设定点±2%所需时间 | |
精度 | 满量程±1%范围内 | 满量程±2%范围内 | |
线性度 | 满量程±0.5%范围内 | 满量程±0.5%范围内 | 满量程±1%范围内 |
满量程±1%范围内 | |||
重复精度 | 满量程±0.2%范围内 | ||
漏率 | **值1×10-6 atm-cc/秒(氦) | ||
控制范围 | 满量程的5到**** | ||
压差 | 7至40 psi | 10至40 psi(517至2069托) | 21至40 psi(1086至2069托) |
(362至2069托) | 14至40 psi(724至2069托) | ||
正常工作压力 | 50 psi(2586托) | ||
**入口压力 | **值150 psi(7740托) | ||
温度范围 | 5至45℃ | ||
注：可根据不同客户的需求，选择全金属密封的FC-7800CD系列，数字型的FC-D770系列，全金属密封及数字型的FC-D980系列。
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