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商品描述:
溅射离子泵电源是专门与溅射离子泵配套使用的电子仪器,用以启动和控制离子泵的工作。电源面板仪表可显示离子泵的工作电压,离子流。电源设计有工作过载和变压器过温保护功能。溅射离子泵电源有A型、B型和C型三种A、B型电源除具有上述功能外,还具有RS232功能。
电源选用: 2LD-400A、2LD-400B、2LD-400C型控制器,适用于我公司生产的所有两级离子泵,包括:2L-400(C)、2L-200(C)、2L-100、2L-50、2L-25。3LD-400B、3LD-400C型控制器适用于我公司生产的所有三级离子泵,包括:3L-400(C)、3L-200(C)、3L-100、3L-50、3L-25。
技术性能
型 号 | 输入电压(V) 频率(Hz) | 输出电压 (KV) | **输出 电流(A) | 最小输出 电流检测(A) | 重量(kg) |
2LD-400A | 220/50 | +3、+5、+7 | 0.1 | 1×10-7 | 20 |
2LD-400B | 220/50 | +3、+5、+7 | 0.09 | 1×10-7 | 5 |
2LD-400C | 220/50 | +3、+5、+7 | 0.1 | 1×10-7 | 4 |
3LD-400B | 220/50 | -3、-5、-7 | 0.09 | 1×10-7 | 5 |
3LD-400C | 220/50 | -3、-5、-7 | 0.1 | 1×10-7 | 4 |
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