美国A&N公司为VEECO的MOCVD设备生产的原厂配件。
同样德国AIXTRON设备同样造用。
产品特点:
Vacuum rating of 1x10-8torr
适合在高真空环境下使用,真空度可以达到1x10-8torr
Bakeable to 150oC (200oC intermittent)
适用于150摄氏度高温长期使用(瞬时测度200度)
Manufactured from 316L stainless steel
由高品质SUS316L材质的不有锈钢材质制成,强度更好。
High conductance; straight through flow
高导电性,气体流动顺畅
Particulate resistant ball/seat design lengthens time between maintenance cycles
防尘球阀设计,寿命长。
Service valve without removal from the system
可以实在在线维护,无需要拆解。
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