超小型真空镀膜机 SC-701HMC II
产品主要特点：
1. W/Ni/Cr/Ti等金属膜的成膜可以使用的DC溅射装置。
2. 磁控阴极采用。
3. 微电脑芯片配置，成膜工艺可以实现高精度
4. 操作方法分全自动及手动两种模式。
5. 自动挡板构造，标准配制。
用途：
W/Ni/Cr/Ti等金属膜真空成膜。
烯料电池用基础实验
基本规格：
| 阴极 | φ2英寸 磁控 |
| 挡板构造 | 自动/手动操作 |
| 气体导入机构 | 针阀 （自动/手动控制） |
| 真空泵 | 直联型回转真空泵:100l/min（带逆流防止阀） |
| 真空腔尺寸 | 内径φ160mm×D160mm (SUS 制) |
| 试料交换方式 | 前门开闭式 |
| 尺寸 (W/D/H) | 主机:360/360/260mm 电源:174/460/264mm |
| 重量 | 主机:20kg 电源:23kg |
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