取代SIC涂层的MOCVD工艺托盘，高纯氮化铝材质MOCVD托盘
现市场LED外延外生产工艺多采用SIC涂层的石墨盘做为托盘。
此类产品更多的被采用于GaN（氮化镓）基板的外延，因为其要求温度更高，
但于由于SIC涂层的厚度较低，高低温反复使用造成SIC涂层热膨冷缩破损，裸露出内部石墨，石墨在高于1000度的情况下与反应气体中的HN3（氨气）发生反应，产生相应杂质，从而托盘不能再使用需要更换。这样的时间大约需要1-2个月。
现在我司推出日本公司新开发的高纯氮化铝陶瓷生产的MOCVD托盘，可以完全取代现在采用的SIC涂层产品。
以下为本产品与SIC涂层产品的相应比较。
一，高纯氮化铝材料的特性；
1，氧的固溶量
2，高密度，约为3.23g/cm3,相对密度约为99%，高密度成形，致密烧结技术
3, 热传导率约为90W/mK
二，特性比较
| 耐腐蚀性 | 热传导性 | 寿命 | 价格 | |
| 石墨+SIC | X | ○ | X | ◎ |
| 高纯SIC | △ | ○ | ○ | X |
| ALN | ○ | ○ | ○ | ○ |
X表示不可，○表示可，◎表示好
三，表面欠缺比较
SIC涂层品加工工艺上的原因，有时会有部分欠缺，各别部分的涂层厚度也没有办法管理。
高纯氮化铝村料则相反，这样托盘的导热性均一，平坦度高，所生产的外延片的质量要更好。
';
免责声明：当前页为 AIXTRON设备托盘，取代SIC涂层托盘氮化铝托盘产品信息展示页，该页所展示的 AIXTRON设备托盘，取代SIC涂层托盘氮化铝托盘产品信息及价格等相关信息均有企业自行发布与提供， AIXTRON设备托盘，取代SIC涂层托盘氮化铝托盘产品真实性、准确性、合法性由店铺所有企业完全负责。世界工厂网对此不承担任何保证责任，亦不涉及用户间因交易而产生的法律关系及法律纠纷，纠纷由会员自行协商解决。
友情提醒：世界工厂网仅作为用户寻找交易对象，就货物和服务的交易进行协商，以及获取各类与贸易相关的服务信息的渠道。为避免产生购买风险，建议您在购买相关产品前务必确认供应商资质及产品质量。过低的价格、夸张的描述、私人银行账户等都有可能是虚假信息，请您谨慎对待，谨防欺诈，对于任何付款行为请您慎重抉择。
投诉方式：fawu@gongchang.com是处理侵权投诉的专用邮箱，在您的合法权益受到侵害时，请将您真实身份信息及受到侵权的初步证据发送到该邮箱，我们会在5个工作日内给您答复，感谢您对世界工厂网的关注与支持！
电话15640996933
手机15640996933
地址辽宁大连市金州区金马路120号福佳国际大厦611室
