全新的Precis® 200是基于Micro-Metric的Innova晶圆量测系统开发而来，采用了VMM公司好的设计和技术。
, 新款Precis 包含了很多可配置选项，使设备更加通用，耐和用以及可和靠。

• 扩展了Z轴范围 – 2.5mm, 5mm or 100mm
• 透射照明
• 完整电子绘图 – 完全符合 SEMI S2 和 CE 标准
• 符合人和体工程学的操作员控制台 ，带有隐藏键盘托盘, 可调节高度和角度的控制面板和显示器, SEMI S8 符合
• 全自动显微镜，所有设置计算机控制
• 好的分辨率像素摄像头
• VIEW Metrology Software (VMS™) 可测组件很广泛, 可选CAD导入 以及完整的几何尺寸和公差导入。
• MMWin – 晶圆片 和Mask计量软件 –晶圆片的重要尺寸和迭置重合测量, 滑块 ABS,光掩模和平板显示器.
• 标准                        可选
•  X,Y,Z行程(mm):        200 x 200 x 50              200 x 200 x 100
• **载重:                 12 kg
• XY精度:                    E1=(0.25+2L/1000)um
• Z 精度:                     E1=(0.25)um (with use of a 100X lens)
• 分辨率：                    0.01 微米
• 视场测量精度和重复性：0.01 μm (100x)
• 直流伺服马达驱动

Precis 主要用于以下应用：
- 亚微米测量：
◆   微器件和电子元器件封装、引线框
◆   微型球状引脚栅格阵列封装
◆   硬盘驱动臂、探针卡、刀片
- CD和套刻测量：
◆  线宽、涂覆层
◆   MEMS 器件、接触窗、喷墨打印头
◆   硬盘驱动头、磁头等