真空机组主要技术参数
表一:罗茨滑阀真空机组
型 号 | 主泵 | 前级泵 | 抽气速率 | 极限压力 | 功率 | ||
I | II | hPa | Torr | ||||
JLH305 | ZJ150 | 2H -30 | - | 150 | 1x10- 4 | 8x10- 5 | 6.2 |
JLH4010 | ZJP300 | 300 | 8 | ||||
JLH402 | ZJ300 | H-150 | 1x10- 3 | 8x10- 4 | 19 | ||
JLH404 | ZJ300 | H-70 | 11.5 | ||||
JL2H404 | ZJ300 | 2H-70 | 1x10- 4 | 8x10- 5 | 11.5 | ||
JLH504 | ZJ600 | H-150 | 600 | 1x10- 3 | 8x10- 4 | 22.5 | |
JLH508.5 | H-70 | 15 | |||||
JL2H508.5A | 2H -70 | 1x10- 4 | 8x10- 5 | 15 | |||
JLH541 | ZJ-150 | H-150 | 2.7x10- 4 | 2x10- 4 | 22 | ||
JL2H542 | 2H-70 | 6.5x10- 5 | 5x10- 5 | 14.5 | |||
JLSN543-1 | 2H-70 | 2.7x10- 4 | 2x10- 4 | 17.2 | |||
JLH608 | ZJ1200 | H-150 | - | 1200 | 1x10- 3 | 8x10- 4 | 26 |
JLH608A | ZJP1200 | H-8 | |||||
JLH624 | ZJ600 | H-150 | 2.7x10- 4 | 2x10- 4 | 33.5 | ||
JLH642 | ZJP300 | H-150 | 30 | ||||
JLH608B | H-150 | - | 1x10- 3 | 8x10- 4 | 26 |
表二:罗茨水环(液环)真空机组
型 号 | 主泵 | 前级泵 | 抽气速率 | 极限压力 | 功率 | ||
I | II | hPa | Torr | ||||
JLS101A | ZJP30 | SK1.5 | - | 30 | 2.7 | 2 | 3.75 |
JLS221 | ZJP70 | ZJP30 | SK1.5 | 70 | 6.7x10-1 | 5x10-1 | 4.85 |
ZJS303 | ZJ150 | 2SK3 | - | 150 | 2.7 | 2 | 11.5 |
JLS301.5 | 2SK6A | - | 150 | 15 | |||
JLS403 | ZJ300 | 2SK6A | - | 300 | 15 | ||
ZJS441.5 | ZJ70 | 2SK3 | 300 | 6.7x10-1 | 5x10-1 | 12.6 | |
JLSN541.5 | ZJ600 | ZJ150 | 2SK6A | 600 | 20.7 | ||
JLY303 | ZJ150 | 2YK3 | - | 150 | 9.7 | ||
JLY403 | ZJ300 | 2YK6A | - | 300 | 15 | ||
JLY406 | 2YK3 | - | 300 | 11.5 | |||
JLYN441 | ZJ70 | 2YK3 | 300 | 5x10-3 | 3.8x10-3 | 12.6 | |
JLY5231 | ZJ600 | ZJ300 | 2H-70 | 1200 | 6.7x10-4 | 5x10-4 | 30 |
JLY541.5 | ZJ600 | ZJ150 | 2H-70 | 600 | 20.7 | ||
JLS541.5 | 2H-70 | 600 | 6.7x10-2 | 5x10-4 | 20.7 | ||
JLNY543 | 2YK3 | 600 | 5x10-3 | 3.8x10-3 | 17.2 | ||
JLNY541.5 | 2YK6A | 600 | 24.7 | ||||
JLYN643 | ZJ1200 | ZJ300 | 2YK6A | 1200 | 30 |
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