蚌埠雷诺 立式连续式真空镀膜生产线
主要用途:
应用于:1)触摸屏,显示器的TCO透明导电玻璃
2)薄膜太阳能电池的AZO前电极,金属背电极镀膜
3)数码产品面板,外观件的PET/PMMA/PC有机材料板材镀金属膜,非导电膜,彩膜
4),笔记本电脑等外壳的EMI电磁屏蔽镀膜
5)汽车车灯镀膜,装饰装潢的不锈钢板表面镀装饰膜
等
设备特色:
磁控溅射技术,膜层质量好,均匀度佳。多套阴极灵活组合,采用新型设计的平面或者圆柱旋转磁控靶,配备直流,中频,或者射频溅射电源。
可以镀制金属膜,合金膜,或者通过反应溅射技术镀制介质膜等。
可采用多室积木式结构,可以实现大面积,高效率的连续生产。
全自动控制系统,采用工控机控制,彩色触摸屏界面,实现设备运行全程自动化。
设备采用立式结构,占地面积小,并可以对工件进行单面或双面镀膜。
设备可设计配套分子泵,扩散泵,或者低温泵抽气系统,还可以根据需要,选配线性离子源,PECVD(等离子)气相沉积装置,以及在线监控系统来提升镀膜的功能和品质。
工作流程:
工件送入进片室,对工件进行镀前离子轰击或者加热处理(辉光清洗),工件通过一个或者多个镀膜室,并被沉积上单层或者多层膜,满足各种不同的应用。
通过过渡室并进入到出片室,镀膜过程结束。
工件输出并检测卸载后,工件架被输送回进片端,等待装片并准备下一个流程。
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