制备有机小分子电致发光器件,并且可以对器件进行封装。OLED器件不暴露大气中。包括:有机真空蒸镀腔室;金属蒸镀腔室;磁控溅射镀膜室;预处理室(过渡仓);手套箱(含除水氧及其水氧监测系统); 整机一体化设计,各腔室独立真空系统,极限真空度高,各室均可相对独立工作;手动控制及必要保护系统即操作方便,又减少误操作对系统损坏。旋转基片台及掩膜板**设计,装-卸基片零活,磁力机械手传递准确、到位。手套箱无水、无氧、无油,
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