伯东pfeiffer检漏仪MOCVD 设备检漏
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上海
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供货总量1000台
有效期长期有效
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产品属性
类型
氦质谱检漏仪
品牌
伯东pfeiffer
型号
ASM 340
测量范围
5x10-12mbr l/s
测量对象
MOCVD 设备检漏
所有参数

日本伯东株式会社,成立于1953 年,全球范围内有一千七百名员工。伯东企业(上海)有限公司系日本伯东株式会社在中国投资的全资公司,公司主要从事半导体设备、电子零部件等加工、销售及相关服务工作,集团年营业额约为100亿人民币。伯东企业(上海)有限公司的总部在上海,同时在中国的北京、苏州、广州、深圳、成都及厦门都设有办事机构。

伯东企业(上海)有限公司真空产品事业部销售众多国际知名真空品牌,代理品牌包含:德国 Pfeiffer 全系列真空产品、美国 KRI 考夫曼离子源、美国 BROOKS  Polycold 制冷机,美国HVA真空阀门,美国 inTEST温度气流控制设备,日本 NS 离子蚀刻机,真空镀膜系统及配套真空零配件等。

上海伯东作为众多国际知名真空品牌指定授权代理商,负责在中国地区的销售同时提供完善的售后维修服务。公司在上海,深圳及厦门等全国重要区域都设有我们产品的销售和维修中心,可为广大客户提供全系列产品的维护及保养服务工作,****使用原厂进口零件以及国外受训维修工程师;拥有完全的拆解,维修,校正能力并提供24小时在线服务。

氦质谱检漏仪 MOCVD 设备检漏
上海伯东客户厦门某大型 LED 生产企业,近日成功采购6台Pfeiffer 氦质谱检漏仪 ASM 340 用于 MOCVD 设备检漏。
MOCVD 是在气相外延生长(VPE)的基础上发展起来的一种新型气相外延生长技术。因为 MOCVD 生长使用的源是易燃、易爆、毒性很强的物质,因此在设备出厂时必须要考虑密封性,否则一旦有毒物质泄漏,后果不堪设想!

上海伯东客户厦门某大型 LED 生产企业应用实例:
MOCVD 需要检漏位置:所有怀疑有漏的地方都需要进行检漏,主要检漏源供给、输运和尾气处理系统(例如管路接头、管道、焊缝等位置)。
根据客户实际需要,MOCVD 检漏基本配置:氦质谱检漏仪 ASM 340 +干式真空泵 ACP 28 如下图所示:

MOCVD 检漏方法:采用真空模式检漏
1. 将设备通过波纹软管连接检漏仪 ASM 340,确认连接完毕
2. 启动 ASM 340,进入待机界面;初次启动时间大约 3min,以后启动 < 1min
3. 按下开始键,先通过 bypass 阀门启动干式真空泵 ACP 28 抽真空,到达一定压力检漏仪 ASM 340 开始工作,同时在设备怀疑有漏的地方喷氦气;若有漏,检漏仪马上报警,显示该喷射点有漏。
4. 检测完毕,按下检漏仪待机键,放气、关闭电源,移除连接管路。
 

Pfeiffer 德国普发氦质谱检漏仪 :上海伯东真空产品事业部是德国 Pfeiffer 指定销售维修中心,我司是国内最早代理 Pfeiffer 产品的公司,**** 原装进口并提供 Pfeiffer 全系列真空产品的售后维修服务。

上海伯东主营产品:德国普发 Pfeiffer 涡轮分子泵干式真空泵罗茨真空泵旋片真空泵;应用于各种真空环境下的真空计氦质谱检漏仪质谱分析仪以及美国考夫曼公司 KRI 原装离子源美国 HVA 真空阀门Polycold 冷冻机离子刻蚀机等。


 

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上海伯东:叶女士                    台湾伯东:叶女士
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伯东企业(上海)有限公司
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组织机构代码607332829
经营状态存续
法定代表人近藤聡(KONDO SATOSHI)
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更新时间:2019-01-30
首页 分类 世界工厂 我的 客服
产品属性
类型
氦质谱检漏仪
品牌
伯东pfeiffer
型号
ASM 340
测量范围
5x10-12mbr l/s
测量对象
MOCVD 设备检漏
工作温度
10-40
分辨率
99
电源
220V
尺寸
300
重量
56
提供加工定制
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